奥林巴斯OLYMPUS-产业领域-干涉仪系列

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	KIF-FSPC/FS2000 干涉条纹解析装置/干涉条纹解析软件

　　与KIF 系列的干涉仪配套安装，可对平面及球面的面精度进行定量测评的干涉条纹解析装置。同时，作为对原有软件功能的追加，使用更加方便的新Windows版本的干涉条纹解析软件FS2000也闪亮登场。

高解像模式的标准配置
在标准模式（320×240像素）的基础上，加装高解像模式（640×480像素）的标准配置。可以对更加复杂的干涉条纹图形作有效分析。
像差分析软件的标准配置
将已测波面数据用Zernike多项式（4、9、16、25、36项）展开，进行像差分析（像散、彗差、球面收差等）。
干涉条纹图像通过PC画面即时显示
干涉条纹图像即时清晰地显示在PC画面上，可边看PC画面边调出干涉条纹，并可单独分离条纹图像，通过附设的彩色打印机打印。
附带相位数据间的演算功能
在已测定的相位数据间可进行加减演算。并能进行内部收差的补正、与主控数据相加减等，具有极强的高精度解析能力。

主要用途：

评价镜片、平面光学部件研磨面的面精度。
评价镜片、平面光学部件的透过波面的定量。
评价反光镜、硬盘、晶片、磁头等金属面的面精度。

规格

解析方式	相位移方式
测定条纹条件	正弦波状强度分布的干涉条纹（不可进行多重干涉的干涉条纹解析）
横方向解像度	320×240像素（标准模式） 640×480像素（高解像模式）
再现性	PV值：λ/300以上、RMS值：λ/2000以上（为本社测定条件，与KIF-202相组合时2δ的值。）
电脑	DOS/V机械
OS	Windows XP^®
电源	AC100V±10V 50/60Hz

因测定时的设置环境不同，会发生机械性能不能充分发挥的时候，敬请原谅！
Windows、Windows XP^®是美国软件公司在美国以及其他国家注册的商标。

干涉条纹解析系统FS2000

解析参数设定	复数最大值(四角形、圆形)的设定外径、有效径的指定合否判定规格设定(PV、RMS、各收差等) 收差除去设定波面间的演算机能
解析结果输出	PV、RMS、动力收差(倾斜、焦距、亚斯、彗形像差、球面收差) Zernike系数(4、9、16、25、36项) 三维鸟瞰图、二维彩色图断面(X·Y方向PV、RMS) 合否判定结果条纹画像数据、波面数据、最大数据、规格数据的保存/读取主窗口印刷、条纹印刷

KIF-FSPC系统构成

FS2000 解析结果表示画面
	2D、3D表示在该画面中可以确认所有形状的数据。可用彩色的平面图及立体鸟瞰图（上视图）显示结果（相位数据），并可同时显示出干涉条纹数据、PV值、RMS 值、POWER值以及赛德尔像差。因可对各数据设定规格值，所以可以对测定结果进行合格与否的判断。例如可以把PV值转换为λ、μm、及Fringe（条纹数），来通过数值而不是以目视检查来判断磁盘基板的面精度。
	断面表示通过在平面图数据上移动十字光标，可显示在任意位置上正交的XY轴上的相位数据断面图。此时如果用鼠标拖动十字光标，则可同步确认断面形状的变化。因为可以同时用彩色平面图显示全体形状以及用XY断面图显示断面形状，因而可以通过视觉把握形状的变化，并进行判断。
	收差表示将相位数据用Zernike多项式（4.9.16.25.36项）展开，并显示各项系数及赛德尔像差（像散、彗差、球差）。另外，通过选择，也可切换为通过波面测定和评价时使用的RMS表示。因可对赛德尔像差（像散、彗差、球面像差）的各数据设定规格值，所以可以对测定结果进行合格与否的判断。例如可以通过与制造DVD的拾音光头时不可缺少的透过波面测定用干涉仪（KIF-201T1-55）一起配合使用，可在更短时间内更加容易地完成测定评价。

附属品


线性卡尺 ●线性卡尺300mm■ ●线性卡尺450mm■	受台、测定台 ●透过测定台（平面用）■■■ ●透过测定5轴受台（球面用）有效径Φ50■■ 有效径Φ102■

参照镜

	口径	Φ60			Φ102	Φ152
	干涉仪类型	KIF-202L	KIF-202T1	KIF-202F	KIF-402	KIF-402
球面用	F0.6*	■	■		■
	F0.7	■	■		■
	F0.8*				■
	F1.0	■	■
	F1.5	■	■		■
	F2.0	■	■
	F3.0	■	■		■
	F6.0	■	■		■
平面用	RF(λ/20)	■	■	■	■	■
平面用	RF(λ/30)	■	■	■	■